穩(wěn)流閥 穩(wěn)流閥是為了控制流經穩(wěn)流閥的載氣流速保持穩(wěn)定用的,因此原理和穩(wěn)壓閥、減壓閥*不同。這里是一個穩(wěn)流閥的結構示意圖,從中我們可以看到這一點。
首先我們發(fā)現調整旋鈕并不是壓緊彈性膜片,而是在調整入口針型閥。而且其他地方與穩(wěn)壓閥相比,差異也很大。從原理上看,
穩(wěn)流閥的工作是這樣的:
當
穩(wěn)流閥出口氣體阻力增加時,氣體流出速度變慢,將導致出口壓力P4增加,于是B腔內壓力P2和P4的壓差減小,從B腔流出下部針型閥的氣體流量減小,B腔氣體量增加,導致B腔壓力P2增加。P2增加導致金屬膜片向上移動,下部針型閥開度增加,從B腔流出的氣體量增加,從而導致P4壓力增加。P4壓力增加,將導致閥后載氣流量加大。這樣就彌補了出口阻力增加造成的氣體流量減小。而調整旋鈕則通過調整入口和B腔間針型閥的開度,來控制B腔壓力P2和入口壓力P3/P1的壓差,來控制整個氣體流速的大小。